在半導(dǎo)體封裝、Mini/Micro LED 顯示、新能源電池等高端制造領(lǐng)域，TGV（Through Glass Via，玻璃通孔）技術(shù)憑借其優(yōu)異的絕緣性、熱穩(wěn)定性和微型化適配能力，已成為核心關(guān)鍵技術(shù)之一。而 TGV 玻璃的加工精度、效率與成品率，直接決定了終端產(chǎn)品的性能上限。傳統(tǒng)加工方式如機(jī)械切割、普通激光切割，長期面臨崩邊嚴(yán)重、熱影響區(qū)大、精度不足等痛點(diǎn)，難以滿足高端制造的嚴(yán)苛要求。在此背景下，超越激光紅外飛秒激光切割機(jī)應(yīng)運(yùn)而生，以顛覆性技術(shù)重構(gòu) TGV 玻璃加工邏輯，成為推動(dòng)蘇州半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶、深圳 Mini LED 集群等核心產(chǎn)業(yè)區(qū)升級(jí)的核心裝備力量。

一.紅外飛秒激光切割機(jī)：TGV 玻璃加工的技術(shù)革命

TGV 玻璃作為微電子封裝的核心材料，其厚度通常在 50-500μm 之間，且對(duì)切割邊緣的平整度、垂直度及內(nèi)部應(yīng)力控制有著極高要求。傳統(tǒng)機(jī)械切割依賴金剛石刀具，易產(chǎn)生崩邊、裂紋，邊緣粗糙度難以控制，后續(xù)打磨工序不僅增加成本，還可能導(dǎo)致玻璃破損；普通激光切割則因脈沖寬度較長，會(huì)產(chǎn)生明顯的熱影響區(qū)，導(dǎo)致玻璃局部熔化、變形，影響通孔精度和產(chǎn)品可靠性。

紅外飛秒激光切割機(jī)的出現(xiàn)徹底改變了這一現(xiàn)狀。飛秒級(jí)脈沖（10-15 秒）能夠在瞬間聚焦能量，直接擊穿玻璃分子鍵，實(shí)現(xiàn) “冷加工” 效果，全程無明顯熱傳導(dǎo)。超越激光紅外飛秒激光切割機(jī)搭載自主研發(fā)的紅外波段激光源，波長適配 TGV 玻璃的光學(xué)特性，能量聚焦精度可達(dá)納米級(jí)，切割邊緣粗糙度 Ra≤0.1μm，崩邊寬度＜5μm，完全滿足半導(dǎo)體封裝的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。作為專注 TGV 玻璃加工的核心裝備，這款超薄 TGV 玻璃紅外飛秒激光切割機(jī)還能適配 50μm 以下超薄玻璃的無損傷切割，解決了傳統(tǒng)設(shè)備 “薄玻璃切不透、厚玻璃切不精” 的行業(yè)難題。

與傳統(tǒng)設(shè)備相比，超越激光紅外飛秒激光切割機(jī)的核心優(yōu)勢體現(xiàn)在三個(gè)維度。其一，加工精度實(shí)現(xiàn)質(zhì)的飛躍，定位精度 ±1μm，切割垂直度≥90°，可精準(zhǔn)適配半導(dǎo)體封裝紅外飛秒激光切割機(jī)的微孔切割、異形切割等復(fù)雜工藝需求。其二，加工效率提升 300% 以上，采用高速掃描振鏡與精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)聯(lián)動(dòng)設(shè)計(jì)，單塊 TGV 玻璃的切割周期從傳統(tǒng)設(shè)備的數(shù)分鐘縮短至數(shù)十秒，大幅提升批量生產(chǎn)能力。其三，無損傷加工特性顯著降低廢品率，避免了傳統(tǒng)工藝中因熱影響或機(jī)械應(yīng)力導(dǎo)致的玻璃破損，成品率從 85% 提升至 99% 以上，為長三角、珠三角企業(yè)降低綜合生產(chǎn)成本。

二.超越激光：紅外飛秒激光切割機(jī)的技術(shù)領(lǐng)航者

作為國內(nèi)激光加工裝備領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，超越激光深耕激光技術(shù)研發(fā)二十余年，在紅外飛秒激光切割機(jī)領(lǐng)域積累了多項(xiàng)核心專利。針對(duì)蘇州半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶對(duì)通孔精度的極致要求、深圳 Mini LED 企業(yè)對(duì)切割效率的迫切需求，超越激光組建了專業(yè)的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)，從激光源、光學(xué)系統(tǒng)到控制系統(tǒng)進(jìn)行全鏈條自主研發(fā)，確保設(shè)備的穩(wěn)定性與適配性。

超越激光紅外飛秒激光切割機(jī)采用進(jìn)口核心部件與自主研發(fā)技術(shù)相結(jié)合的模式，激光脈沖寬度可在 100fs-10ps 之間靈活調(diào)節(jié)，能量輸出穩(wěn)定度≤±2%，能夠適配不同厚度、不同材質(zhì)的 TGV 玻璃加工。根據(jù)《中國半導(dǎo)體封裝產(chǎn)業(yè)發(fā)展報(bào)告 2024》數(shù)據(jù)顯示，該設(shè)備的核心性能已達(dá)到國際先進(jìn)水平，其中微孔切割精度更是領(lǐng)先行業(yè)同類產(chǎn)品 20%。設(shè)備搭載的智能視覺定位系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)位、偏差補(bǔ)償，即使面對(duì)批量生產(chǎn)中的微小尺寸差異，也能保證切割精度的一致性。此外，設(shè)備還具備智能診斷、故障預(yù)警等功能，操作界面簡潔直觀，普通工人經(jīng)過簡單培訓(xùn)即可上手，降低了企業(yè)的人力成本。

為了更好地服務(wù)本地企業(yè)，超越激光在蘇州、深圳設(shè)立了專項(xiàng)技術(shù)服務(wù)中心，針對(duì) TGV 玻璃紅外飛秒激光切割機(jī)定制需求提供 “2 小時(shí)響應(yīng) + 上門調(diào)試” 服務(wù)。針對(duì)半導(dǎo)體封裝行業(yè)的 TGV 玻璃通孔切割需求，可定制專用的微孔切割模塊，孔徑最小可達(dá) 10μm；針對(duì) Mini LED 基板加工，優(yōu)化了高速切割算法，實(shí)現(xiàn)多通道同步切割；針對(duì)新能源電池領(lǐng)域的絕緣玻璃切割，強(qiáng)化了設(shè)備的防塵、防腐蝕性能，適配工業(yè)級(jí)惡劣環(huán)境。憑借強(qiáng)大的技術(shù)定制能力，超越激光紅外飛秒激光切割機(jī)已成功服務(wù)于蘇州工業(yè)園區(qū)、深圳南山科技園等地的數(shù)百余家企業(yè)，成為 TGV 玻璃加工的首選裝備。

三.多行業(yè)落地：紅外飛秒激光切割機(jī)的價(jià)值賦能

在半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域，TGV 玻璃作為芯片與基板之間的連接載體，其通孔精度直接影響芯片的散熱性能與信號(hào)傳輸效率。蘇州某頭部半導(dǎo)體企業(yè)采用超越激光紅外飛秒激光切割機(jī)后，TGV 玻璃通孔的位置偏差從 ±5μm 縮小至 ±1μm，信號(hào)傳輸損耗降低 20%，產(chǎn)品良率提升 12 個(gè)百分點(diǎn)，年節(jié)約生產(chǎn)成本超千萬元。該企業(yè)負(fù)責(zé)人表示，設(shè)備完全適配本地半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)升級(jí)需求，且蘇州服務(wù)中心的快速響應(yīng)讓生產(chǎn)過程中的問題得到及時(shí)解決。

在 Mini LED 顯示領(lǐng)域，TGV 玻璃基板的切割精度直接決定了顯示面板的像素密度與畫面清晰度。深圳某顯示技術(shù)企業(yè)引入超越激光紅外飛秒激光切割機(jī)后，不僅實(shí)現(xiàn)了 TGV 玻璃基板的高精度分切，切割邊緣無鋸齒、無崩邊，無需后續(xù)打磨工序，還借助設(shè)備的高速切割能力，將產(chǎn)能提升了 3 倍，成功適配了深圳 Mini LED 產(chǎn)業(yè)的批量生產(chǎn)需求。該設(shè)備讓顯示面板的像素間距最小可達(dá) 0.9mm，畫面刷新率提升至 360Hz，助力企業(yè)推出更具市場競爭力的高端顯示產(chǎn)品。

在新能源電池領(lǐng)域，TGV 玻璃作為電池極耳的絕緣材料，需要具備耐高溫、抗腐蝕及精準(zhǔn)的尺寸控制。珠三角某新能源電池企業(yè)采用超越激光紅外飛秒激光切割機(jī)后，實(shí)現(xiàn)了對(duì)超薄 TGV 玻璃（厚度 50μm）的無損傷切割，切割速度達(dá) 100mm/s，且切割過程中不產(chǎn)生粉塵、廢液，符合深圳、東莞等地的環(huán)保生產(chǎn)要求。企業(yè)廢品率從 10% 降至 0.5%，有效支撐了其高端動(dòng)力電池的量產(chǎn)需求，同時(shí)借助超越激光的本地服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，設(shè)備維護(hù)成本降低了 30%。

四.行業(yè)趨勢下的選擇：超越激光的持續(xù)創(chuàng)新

隨著微電子制造向微型化、高精度、高可靠性方向發(fā)展，TGV 玻璃的應(yīng)用場景將不斷拓展，對(duì)加工設(shè)備的要求也將持續(xù)提升。超越激光始終以技術(shù)創(chuàng)新為核心驅(qū)動(dòng)力，在紅外飛秒激光切割機(jī)領(lǐng)域持續(xù)投入研發(fā)，未來將推出更高精度、更高效率的新一代產(chǎn)品，進(jìn)一步優(yōu)化設(shè)備的智能化水平與定制化能力，重點(diǎn)適配長三角、珠三角等核心產(chǎn)業(yè)區(qū)的技術(shù)升級(jí)需求。

同時(shí)，超越激光持續(xù)完善地域服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，除蘇州、深圳外，還在天津、成都等地設(shè)立了技術(shù)服務(wù)中心，為本地企業(yè)提供 24 小時(shí)響應(yīng)、上門調(diào)試、技術(shù)培訓(xùn)等全方位服務(wù)。針對(duì)不同地域的產(chǎn)業(yè)特色，服務(wù)中心還配備了專項(xiàng)技術(shù)工程師，比如蘇州服務(wù)中心側(cè)重半導(dǎo)體封裝工藝支持，深圳服務(wù)中心聚焦 Mini LED 高效加工方案，確保各地企業(yè)都能獲得精準(zhǔn)的技術(shù)支持，保障紅外飛秒激光切割機(jī)的穩(wěn)定運(yùn)行。

在激光加工技術(shù)飛速發(fā)展的今天，超越激光紅外飛秒激光切割機(jī)以其卓越的性能、廣泛的適配性和可靠的品質(zhì)，成為 TGV 玻璃加工領(lǐng)域的標(biāo)桿產(chǎn)品。選擇超越激光，就是選擇了技術(shù)領(lǐng)先、成本優(yōu)化與本地化服務(wù)保障的三重優(yōu)勢。未來，超越激光將繼續(xù)深耕激光加工領(lǐng)域，以更先進(jìn)的紅外飛秒激光切割機(jī)產(chǎn)品，助力更多長三角、珠三角及全國核心產(chǎn)業(yè)區(qū)的企業(yè)突破技術(shù)瓶頸，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)升級(jí)。